臺灣某半導(dǎo)體企業(yè)的廢水處理工程實例
摘要: 根據(jù)半導(dǎo)體工業(yè)廢水的特點,將其分為無機(氟系)廢水、有機廢水、酸堿廢水三部分,分別采用化學(xué)混凝、MBBR反應(yīng)池、中和等方式進行處理,處理后合流排出。簡述了各構(gòu)筑物的設(shè)備配置、設(shè)計參數(shù)等,該工程采用全過程計算機控制,自動化程度高,處理效果較好。
關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體企業(yè)廢水; 化學(xué)混凝; MBBR反應(yīng)池; 中和
臺灣某半導(dǎo)體企業(yè)的廢水處理工程設(shè)計處理規(guī)模為1. 4 ×104 m3 /d,總投資為2. 5 億新臺幣,于2005年2月開始運行, 2005年5月通過新竹監(jiān)測站監(jiān)測驗收至今運行良好。
該企業(yè)在建廠時充分考慮了廢水處理要求,將半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝流程中的廢水大致分為無機(氟系)廢水、有機廢水、酸堿廢水三部分,分別處理以達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。
1 設(shè)計水質(zhì)、水量
設(shè)計水質(zhì)、水量見表1。
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