氣體質(zhì)量流量計
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人氣:2029 發(fā)布時間:2011-10-13 10:11 關(guān)鍵詞:流量計 產(chǎn)品型號:齊全 應(yīng)用領(lǐng)域:水處理 產(chǎn)品價格:面議 |
美國Aalborg代理 代理Aalborg氣體質(zhì)量流量計 Aalborg控制器
寧波金晟杰機電有限公司供應(yīng)美國Aalborg Aalborg氣體質(zhì)量流量計 Aalborg控制器
是世界上著名的氣體質(zhì)量流量計/控制器的生產(chǎn)廠家其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝 真空鍍膜 材料科學 石油化工 醫(yī)藥 環(huán)保等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點:性價比高 響應(yīng)速度快 可靠性高 易于集成 環(huán)路保護 備總量計數(shù)器
典型應(yīng)用:CVD PVD 刻蝕 等離子注入 濺射 ITO 玻璃鍍膜 表面處理等鍍膜工藝。
設(shè)計特點:
-剛性金屬結(jié)構(gòu)
-流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
-最大壓力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦氣
-NIST系統(tǒng)標定可追蹤的證明
-可傾斜的LCD讀表
-0-5Vdc或4-20mA信號輸出
-電路保護
-可用作便攜式的設(shè)備
-0到100%比例顯示
-可配備流量計算機
精度:±1.5%滿量程 包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力。可選±1%滿量程(標定精度)在給定的溫度與壓力值條件下。
重復性:±0.5%滿量程
回應(yīng)時間:實際流速±2%超過滿量程25-100%一般2秒
溫度系數(shù):0.15%滿量程/℃
壓力系數(shù):0.01%滿量程/psi(0.07bar)
氣體/周圍溫度:32℉-122℉(5℃-50℃)
輸出信號:0-5Vdc 最小1000Ω。4-20mA 0-250Ω回路電阻
傳感器輸出:+12Vdc;最大200Ω。+24Vdc可選
時間恒量:800ms
氣體壓力:最大1000psig(70bar)?蛇x20psig(1.4bar)
流體接觸面材質(zhì):A:GFC鋁系列為陽極電鍍鋁 316不銹鋼 銅和氟橡膠圓環(huán)
B:GFC17S 37S 47S 57S 67S 77S不銹鋼系列:316不銹鋼 氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán)。
方位靈敏度:水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度;標準校準是在水平位置
連接:GFC17和37:1/4"卡套螺紋VCR®或1/8"卡套可選(GFC17)
GFC47:3/8"卡套螺紋
GFC57:3/8"卡套螺紋
GFC67:1/2"卡套螺紋
GFC77:3/4"卡套螺紋
VCR®或3/4"卡套可選(GFC77)美國Aalborg Aalborg氣體質(zhì)量流量計 Aalborg控制器該產(chǎn)品種類齊全品質(zhì)優(yōu)良 如您有意購買 歡迎來電咨詢!