有機(jī)廢氣凈化工藝的選擇及效果
摘要：本文通過(guò)對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)的有機(jī)廢氣凈化工藝及設(shè)備的分析，總結(jié)了各種凈化工藝特點(diǎn)和應(yīng)用的范圍。在擴(kuò)建工程中選擇了合理的凈化工藝及設(shè)備。經(jīng)過(guò)一年的生產(chǎn)驗(yàn)證，有機(jī)廢氣達(dá)到國(guó)家大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)，與現(xiàn)有廢氣處理設(shè)備相比，節(jié)省了投資、降低了運(yùn)行成本，經(jīng)濟(jì)效果明顯。
關(guān)鍵詞：有機(jī)廢氣；碳吸附；比表面
1 引言
隨著半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)規(guī)模擴(kuò)大和技術(shù)升級(jí)，其在各行業(yè)發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用。近幾年，半導(dǎo)體工業(yè)迅猛發(fā)展，合資、獨(dú)資建成投產(chǎn)十幾條生產(chǎn)線。由于在集成電路生產(chǎn)過(guò)程要求在高潔凈度廠房進(jìn)行，但生產(chǎn)工藝中需要使用有機(jī)和無(wú)機(jī)化學(xué)藥品，所以，通風(fēng)排氣對(duì)于生產(chǎn)十分重要。我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)起步較晚，所以相應(yīng)的廢氣凈化技術(shù)比較落后，一般在引進(jìn)生產(chǎn)線的同時(shí)引進(jìn)廢氣凈化設(shè)施，投資及運(yùn)行成本很高，如何消化吸收國(guó)外先進(jìn)的廢氣凈化工藝，選擇合適的工藝保證穩(wěn)定生產(chǎn)和達(dá)標(biāo)，對(duì)于新建和改擴(kuò)建廢氣處理系統(tǒng)非常重要。
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