高壓脈沖放電等離子體的相關(guān)設(shè)備
1. 等離子體取樣質(zhì)譜儀 （雙頻CCP放電在線診斷）
靈敏度高，極穩(wěn)定的3級(jí)過濾四極桿，脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器，7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍，能量分析，互鎖裝置可提供過壓保護(hù)。分析等離子過程中的離子能量、質(zhì)量分布和中性粒子質(zhì)量分布。
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2.高性能等離子體光譜測(cè)量系統(tǒng)SP2500i
設(shè)備可以檢測(cè)從紫外到近紅外的發(fā)射光譜；主要配備有：焦距為500 mm的雙輸出光譜儀單色儀；三塊光柵；光譜專用背感光高靈敏度CCD；紫外、可見到近紅外光電倍增管及其附屬管套高壓電源及分壓器；檢測(cè)光纖；相應(yīng)的輸入與輸出光路？梢杂霉怆姳对龉茌敵觯玫礁叩姆直媛，也可以用CCD輸出，可以得到高信燥比并且可以瞬時(shí)對(duì)比較寬的光譜范圍進(jìn)行取樣，降低信號(hào)波動(dòng)帶來的誤差。設(shè)備可以用于大氣壓與低氣壓等離子體物理特性的研究，采集微弱信號(hào)的光譜，也可以用于精細(xì)光譜的測(cè)量，如分子的轉(zhuǎn)動(dòng)光譜。這對(duì)于像大氣壓放電弱等離子體中的成分及相對(duì)含量研究以及等離子體溫度光譜測(cè)量都是非常有益的。
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3.等離子體激光診斷系統(tǒng)
Plasma-master可以對(duì)各種放電形式的等離子體進(jìn)行時(shí)間、空間分辯的光學(xué)照相診斷，還可以進(jìn)行空間分辯的發(fā)射光譜（OES）、激光誘導(dǎo)熒光（LIF）光譜和激光散射光譜診斷。
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主要參數(shù)：空間分辯率為0.2mm，時(shí)間分辯率5ns, 光譜學(xué)波長范圍 200~1100nm, 激光波長掃描范圍220nm~650nm, 探測(cè)靈敏度10ppb
4.強(qiáng)流脈沖電子束裝置（低能電子炮）
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是一種特殊的電物理裝置，它能產(chǎn)生短脈沖、高能量、強(qiáng)流電子束，用于金屬、半導(dǎo)體材料表面改性、表面強(qiáng)化、合金化、清洗及表面熔覆、快速淬火等。
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