多晶硅生產(chǎn)企業(yè)廢水處理工程設(shè)計(jì)與應(yīng)用
摘要：針對(duì)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)面臨的污水處理問(wèn)題，探討了多晶硅生產(chǎn)企業(yè)廢水處理的工程設(shè)計(jì)原則、方法及應(yīng)用需 求.通過(guò)分析多晶硅生產(chǎn)企業(yè)污水水質(zhì)的特性。提出一種分段處理的廢水處理工藝方法，實(shí)際應(yīng)用取得了顯著的環(huán)境效益、經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。
關(guān)鍵字：多晶硅生產(chǎn)，廢水處理，工程設(shè)計(jì)
0引言
多晶硅是制造集成電路、光伏太陽(yáng)能電池的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料。是國(guó)家發(fā)展信息產(chǎn)業(yè)和光伏新能源產(chǎn)業(yè)的重要基石。然而在生產(chǎn)過(guò)程中，多晶硅生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)生大量成分復(fù)雜的工業(yè)廢水，如不能很好地處理，勢(shì)必嚴(yán)重污染水體，危害環(huán)境。因此，如何處理生產(chǎn)廢水成為多晶硅生產(chǎn)企業(yè)環(huán)境治理必須解決的一個(gè)重大課題。
1多晶硅生產(chǎn)廢水的來(lái)源及特點(diǎn)
在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中需要對(duì)含硅原料用氫氟酸、硝酸等強(qiáng)酸進(jìn)行適當(dāng)?shù)母g，因此生產(chǎn)過(guò)程將產(chǎn)生大量酸性廢水。
1.1水質(zhì)分類(lèi)及其來(lái)源
根據(jù)水質(zhì)分析，將多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的廢水分為含氟酸性廢水、其他生產(chǎn)廢水和生活污水共3類(lèi)。
(1)含氟酸性廢水。主要來(lái)自洗料車(chē)間多晶硅原料的浸泡工段、清洗工段以及酸霧處理中噴淋塔排出的噴淋廢水等。根據(jù)含氟離子的濃度大小，又將其分為高氟廢水和低氟廢水。
(2)其他生產(chǎn)廢水。主要指清洗劑、切割液等類(lèi)物質(zhì)的清洗廢水、堿洗塔廢水等，這類(lèi)廢水不含F(xiàn)-。
(3)生活污水。主要來(lái)源于生產(chǎn)區(qū)衛(wèi)生用水、生活行政區(qū)生活污水等。
1.2水質(zhì)特點(diǎn)分析
(1)由于其水量、水質(zhì)的變化幅度較大，pH值不穩(wěn)定，需要集中調(diào)節(jié)、中和處理。
(2)F-與硝酸根離子濃度高，需要針對(duì)性去除。不僅含氟量較高，且含有一定量的色度和懸浮物，因此處理難度大。高含氟廢水的F-質(zhì)量濃度在1.0—15g/L，低氟廢水的F-質(zhì)量濃度在200mg/L左右。
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