首個(gè)關(guān)于集成電路制造的環(huán)評(píng)文件審批原則提出哪些要求？
【谷騰環(huán)保網(wǎng)訊】集成電路制造是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，是關(guān)乎經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和國(guó)家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，是國(guó)家實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略的重要支撐。隨著經(jīng)濟(jì)發(fā)展以及集成電路行業(yè)相關(guān)政策的推動(dòng)，我國(guó)集成電路行業(yè)發(fā)展迅速，集成電路制造建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)審批數(shù)量持續(xù)增加。與此同時(shí)，基層審批部門，尤其是縣級(jí)審批部門，對(duì)政策文件的理解和對(duì)技術(shù)規(guī)范的把握存在較多困惑，環(huán)評(píng)審批工作壓力較大。為此，近日生態(tài)環(huán)境部印發(fā)了《集成電路制造建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件審批原則（2024年版）》（以下簡(jiǎn)稱《審批原則》）。《審批原則》是首次制訂的關(guān)于集成電路制造環(huán)評(píng)文件審批原則，對(duì)規(guī)范集成電路行業(yè)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)審批，支持集成電路行業(yè)綠色高質(zhì)量發(fā)展具有深遠(yuǎn)的意義。
一是明確項(xiàng)目選址要求。根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》《中共中央 國(guó)務(wù)院關(guān)于深入打好污染防治攻堅(jiān)戰(zhàn)的意見(jiàn)》《關(guān)于劃定并嚴(yán)守生態(tài)保護(hù)紅線的若干意見(jiàn)》《關(guān)于印發(fā)〈生態(tài)保護(hù)紅線生態(tài)環(huán)境監(jiān)督辦法（試行）〉的通知》等文件相關(guān)要求，并結(jié)合集成電路制造項(xiàng)目耗水量大、排水量大、廢氣風(fēng)量大、污染物產(chǎn)生種類多的特點(diǎn)，《審批原則》明確項(xiàng)目選址要求，提出“項(xiàng)目選址應(yīng)符合生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控要求，不得位于法律法規(guī)明令禁止建設(shè)的區(qū)域，應(yīng)避開(kāi)生態(tài)保護(hù)紅線。鼓勵(lì)新建、擴(kuò)建項(xiàng)目選址布局在依法合規(guī)設(shè)立的產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi)，符合園區(qū)規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)要求。”
二是強(qiáng)化節(jié)能降耗要求。《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》提出“企業(yè)應(yīng)當(dāng)優(yōu)先使用清潔能源，采用資源利用率高、污染物排放量少的工藝、設(shè)備以及廢棄物綜合利用技術(shù)和污染物無(wú)害化處理技術(shù)，減少污染物的產(chǎn)生”的總體要求。集成電路制造生產(chǎn)工藝復(fù)雜，加工精度高，多個(gè)工藝單元需純水清洗，水資源消耗大，同時(shí)廢氣洗滌塔和循環(huán)冷卻水補(bǔ)水也消耗大量水資源。根據(jù)已有的工藝技術(shù)，再生水經(jīng)純水制備系統(tǒng)后可用于生產(chǎn)環(huán)節(jié)，清洗水經(jīng)純水制備系統(tǒng)后可回用于循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，從節(jié)約水資源角度，《審批原則》提出了“鼓勵(lì)再生水的使用、鼓勵(lì)清洗水回用”等提高水的回用率和重復(fù)利用率的相關(guān)要求。
三是細(xì)化廢氣治理。強(qiáng)調(diào)了有機(jī)廢氣高效治理，集成電路制造通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類廢氣，產(chǎn)生的廢氣具有風(fēng)量大、濃度低的特點(diǎn)，仍有企業(yè)采取UV光解等低效處理措施或直接排放。高效穩(wěn)定的治理措施能夠提高有機(jī)廢氣處理效率，因此，《審批原則》提出“鼓勵(lì)采用轉(zhuǎn)輪濃縮吸附燃燒裝置處理硅片有機(jī)洗、光刻、濕法去膠等工序產(chǎn)生的有機(jī)廢氣”。梳理了廢氣產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)，梳理襯底清洗、濕法刻蝕、濕法去膠、含氰電鍍等工序產(chǎn)生的酸性廢氣，襯底清洗、顯影等工序產(chǎn)生堿性廢氣，化學(xué)氣相沉積、干法刻蝕、擴(kuò)散、離子注入、熱氧化、干法去膠等工序產(chǎn)生的特種廢氣，以及焊接工序產(chǎn)生的鉛及其化合物等涉重金屬焊接煙塵，重點(diǎn)關(guān)注氮氧化物、氯化氫、硫酸霧、氟化物、氯氣、揮發(fā)性有機(jī)物、氰化物、氨等特征污染物的達(dá)標(biāo)排放情況，明確廢氣環(huán)境管理要求。明確排放標(biāo)準(zhǔn)，解決標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行混亂的問(wèn)題。由于尚無(wú)行業(yè)大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)，各地存在大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行混亂問(wèn)題。因此，《審批原則》提出“項(xiàng)目排放的廢氣污染物應(yīng)符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB 16297）要求；項(xiàng)目工藝過(guò)程產(chǎn)生的氨以及污水處理站產(chǎn)生的氨、硫化氫等惡臭污染物排放應(yīng)符合《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB 14554）要求；涉及使用VOCs物料的，廠區(qū)內(nèi)揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放控制應(yīng)符合《揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB 37822）要求。”
四是明確廢水預(yù)處理要求。集成電路制造過(guò)程需保持高潔凈度，幾乎每個(gè)步驟都需清洗，產(chǎn)生大量廢水，涉及重金屬以及含氟、含砷廢水等有毒有害污染物。尤其部分企業(yè)含氟廢水未實(shí)現(xiàn)分類、分質(zhì)處理，而與其他廢水混合后進(jìn)行處理，增大了深度除氟難度。根據(jù)《電子工業(yè)水污染防治可行技術(shù)指南》（HJ1298）、《電子工程環(huán)境保護(hù)設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50814）相關(guān)要求，《審批原則》明確了各類廢水分類收集、分質(zhì)處理，提出“鼓勵(lì)含重金屬?gòu)U水采用化學(xué)沉淀法預(yù)處理，砷化鎵芯片制造產(chǎn)生的含砷廢水采用過(guò)濾+化學(xué)沉淀法預(yù)處理；含氟廢水采用化學(xué)沉淀法預(yù)處理，含氨廢水采用吹脫法或厭氧氨氧化法預(yù)處理”。
五是強(qiáng)調(diào)固體廢物資源化利用。集成電路制造使用硫酸、氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸等各類酸，產(chǎn)生大量廢酸等危險(xiǎn)廢物，按照固體廢物污染環(huán)境防治堅(jiān)持減量化、資源化和無(wú)害化的原則，考慮到工藝過(guò)程酸洗后的廢硫酸可用于廢水、廢氣處理,《審批原則》提出“鼓勵(lì)通過(guò)綜合利用的方式實(shí)現(xiàn)固體廢物減量化，鼓勵(lì)廢硫酸階梯使用。”
六是完善環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)要求。集成電路制造使用的化學(xué)品和工藝氣體種類多、毒性大，包括硫酸、氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸等各類酸，氨水、氫氧化鉀等各類堿，丙酮、異丙醇、醋酸丁酯、N—-甲基四氫比咯酮（NMP）等各類有機(jī)化學(xué)品，以及硅烷、砷烷、磷烷、四氟化碳、硼烷、三氯化硼等高純特殊氣體，具有較高環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)！秾徟瓌t》要求化學(xué)品庫(kù)、化學(xué)品供應(yīng)間等化學(xué)品存儲(chǔ)區(qū)設(shè)置事故廢水收集或應(yīng)急儲(chǔ)存設(shè)施，以及采取其他防液體流散措施；要求計(jì)算氯氣、砷化氫、磷化氫等有毒有害氣體的泄漏影響范圍并提出環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范和應(yīng)急措施。
七是強(qiáng)化新污染物管控。集成電路芯片制造使用的光刻膠中涉及全氟辛酸及其鹽類和相關(guān)化合物（PFOA類）等新污染物，根據(jù)《國(guó)務(wù)院辦公廳關(guān)于印發(fā)新污染物治理行動(dòng)方案的通知》《重點(diǎn)管控新污染物清單》等相關(guān)要求，《審批原則》加強(qiáng)對(duì)新污染物的管控，要求排放全氟辛酸及其鹽類和相關(guān)化合物（PFOA類）等新污染物的土壤污染重點(diǎn)監(jiān)管單位應(yīng)對(duì)周邊環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測(cè)；要求電子工業(yè)污水集中處理設(shè)施運(yùn)營(yíng)企業(yè)應(yīng)按照《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 39731)開(kāi)展廢水綜合毒性監(jiān)測(cè)。
作者單位：生態(tài)環(huán)境部環(huán)境工程評(píng)估中心
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